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激光切割加工具有切割精度高、切割速度快、熱效應(yīng)低、無(wú)污染、無(wú)噪音等優(yōu)點(diǎn)，在汽車、船舶、航空航天和電子產(chǎn)業(yè)中 都得到了廣泛的應(yīng)用。而激光切割加工質(zhì)量與激光焦點(diǎn)與工件之間的相對(duì)位置有著密切的關(guān)系，保證激光焦點(diǎn)和切割對(duì)象之間的公道的相對(duì)位置是保證激光切割加工 質(zhì)量的關(guān)鍵之一。

激光聚焦的焦點(diǎn)位置無(wú)法直接丈量，但可以通過(guò)間接方法檢測(cè)。對(duì)于一個(gè)激光切割加工系統(tǒng)，其焦點(diǎn)位置是由聚焦鏡的光學(xué)焦點(diǎn) 決定的，所以在聚焦鏡一定情況下其位置是不變的（不考慮聚焦鏡的熱效應(yīng)），因此可以通過(guò)檢測(cè)聚焦鏡和被加工對(duì)象之間的相對(duì)位置來(lái)間接檢測(cè)焦點(diǎn)和被加工對(duì)象 之間的位置關(guān)系。

激光焦點(diǎn)和被加工對(duì)象之間的相對(duì)位置可以通過(guò)電感位移傳感器和電容傳感器來(lái)檢測(cè)，在使用中各有優(yōu)缺點(diǎn)。電感傳感器的響 應(yīng)頻率較低，不太適用于高速加工和像!維加工這樣需要非接觸檢測(cè)的場(chǎng)合；電容傳感器，具有響應(yīng)速度快，檢測(cè)精度高等優(yōu)點(diǎn)，但在使用過(guò)程中存在非線性和易受 激光切割加工過(guò)程中產(chǎn)生的等離子云和噴渣的干擾的影響。

本文將系統(tǒng)討論激光切割加工中激光焦點(diǎn)位置誤差的產(chǎn)生途徑和自動(dòng)消除誤差的控制系統(tǒng)的組成。在此基礎(chǔ)上分別討論了兩種傳感器檢測(cè)系統(tǒng)組成以及實(shí)際使用中存在的不足和克服的方法。

1 激光切割過(guò)程中焦點(diǎn)位置誤差的產(chǎn)生

在激光切割過(guò)程中，產(chǎn)生焦點(diǎn)和被加工對(duì)象表面之間相對(duì)位置發(fā)生變化的因素很多，被加工工件表面凸凹不平、工件裝夾方式、機(jī)床的幾何誤差以及機(jī)床在負(fù)載力下的 變形、工件在加工過(guò)程中的熱變形等都會(huì)造成激光焦點(diǎn)位置和理想給定位置（編程位置）發(fā)生偏差。有些誤差（如機(jī)床的幾何誤差）具有規(guī)律性，可以通過(guò)定量補(bǔ)償 方法進(jìn)行補(bǔ)償，但有些誤差為隨機(jī)誤差，只能通過(guò)在線檢測(cè)和控制來(lái)消除，這些誤差是：

1.1 工件幾何誤差激光切割的對(duì)象 為板材或覆蓋件型零件，由于各種原因的影響，加工對(duì)象表面具有起伏不平，且在切割過(guò)程中的熱效應(yīng)的影響也會(huì)產(chǎn)生薄板零件的表面變形，對(duì)于1維激光加工，覆 蓋件在壓制成型過(guò)程中也會(huì)產(chǎn)生表面的不平，所有這些，都會(huì)產(chǎn)生激光焦點(diǎn)與被加工對(duì)象表面的位置與理想位置發(fā)生隨機(jī)變化。
1.2 工件裝夾裝置產(chǎn)生的誤差
激光切割加工的工件是放在針狀工作臺(tái)上，由于加工誤差、長(zhǎng)時(shí)間與工件之間的磨損和激光的燒傷，針床會(huì)出現(xiàn)凸凹不平，這種不平也會(huì)產(chǎn)生薄鋼板和激光焦點(diǎn)之間的位置的隨機(jī)誤差。
1.3 編程產(chǎn)生的誤差在1維激光切割加工過(guò)程中，復(fù)雜曲面上的加工軌跡是通過(guò)直線、圓弧等擬合的，這些擬合曲線和實(shí)際曲線存在一定誤差，這些誤差使得實(shí)際焦點(diǎn)和加工對(duì)象表面的相對(duì)位置和理想編程位置產(chǎn)生一定誤差。而有些示教編程系統(tǒng)也會(huì)引進(jìn)一些偏差。
2 激光切割過(guò)程中焦點(diǎn)位置在線檢測(cè)與控制系統(tǒng)的組成